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洁净室过滤器检漏方法JGJ71-90

2016/6/24 15:27:25      点击:

洁净室综合性能检测方法-过滤器检漏

过滤器检漏

1.对于安装于送、排风末端的高效过滤器,应用扫描法进行过滤器安装边框和全断面检漏。扫描法有检漏仪法(光度计法)和采样量最小为1L/min的尘埃粒子计数器法两种。对于超高效过滤器,扫描法有凝结核计数器法和激光尘埃粒子计数器法两种。

2.粒子计数器法检漏

(1)被检过滤器必须已测过风量,在设计风速的80%~120%之间运行。

(2)在被检高效过滤器上风侧测定大气尘的微粒数,以大于或等于0.5μm微粒为准,其浓度必须大于或等于3.5×104粒/L;

若检测超高效过滤器,则以大于或等于0.1μm微粒为准,其浓度

必须大于或等于3.5×10~3.5×10/L。

(3)若上风侧浓度不符合上项规定,则应引入不经过滤的空气,如果还达不到规定,则不宜用粒子计数器法和凝结核计数器法检漏。

3.检漏仪法检漏

(1)被检漏过滤器必须已测过风量,在设计风速的80%~120%之间运行。

(2)对于高效过滤器,当检漏仪表为对数刻度时,上风侧气溶胶浓度应超过仪表最小刻度的104倍;当检漏仪表为线性刻度时,上风侧气溶胶浓度需达到80~100μg/L。检漏仪表应具有0.001~100μg/L的测量范围。

(3)当几台或全部过滤器必须同时暴露在气溶胶中时,为了对所有过滤器造成均匀混合,宜在风机吸入端或这些过滤器前方支干管中引入检漏用气溶胶,立即在受检过滤器的正前方测定上风侧浓度。

(4)在同一送风面上安有多台过滤器时,在结构上允许的情况下,宜用每次只暴露1台过滤器的方法进行测定。



4.检漏时将采样口放在距离被检过滤器表面2~3cm处,以20~30mm/s的速度移动,对被检过滤器整个断面、封头胶和安装框架处进行扫描。

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